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刻在時光里的歲月

吉力

<p class="ql-block">　　上世紀(jì)七十年代日立公司（HITASHI)推出了P24型十二英寸集成電路黑白電視機。全機采用六塊集成電路，實現(xiàn)了較高的集成化水平。</p><p class="ql-block">　　1977年6月份，國家廣播電視工業(yè)管理總局去日本考察帶回了一部日立公司的P24型十二英寸集成電路黑白電視機、六塊集成電路和一些簡單的性能參數(shù)、內(nèi)電路圖，還有一張P24型電視機的電路圖。為了加快我國集成電路電視機的普及。四機部希望國內(nèi)元器件生產(chǎn)廠家能設(shè)計、生產(chǎn)我國自己的P24集成電路。</p><p class="ql-block"> 1977年下半年我們742廠在四車間開始研制P24六塊集成電路。同時對西大樓進行凈化改造，為以后的批量生產(chǎn)做準(zhǔn)備。西大樓改造完成后成立了六車間。并調(diào)集了廠里一批技術(shù)骨干研制和批量生產(chǎn)P24集成電路</p> <p class="ql-block">參研P24黑白電視機集成電路的技術(shù)人員有：</p><p class="ql-block"> D1144 圖像中放：居海祥、華瑞康</p><p class="ql-block"> D1167檢波、視放：王道修、宋根興</p><p class="ql-block"> D1166行掃、行推動：桑宇清、杭中毓</p><p class="ql-block"> D581場掃：李國梁、于保良、華瑞康</p><p class="ql-block"> D582電源：李華國、宋根興</p><p class="ql-block"> D583伴音：潘錦炎、杭中毓</p><p class="ql-block">　陳郁文:負(fù)責(zé)外延片生產(chǎn)技術(shù)。</p><p class="ql-block"> 袁克明:負(fù)責(zé)后道塑料封裝技術(shù)。</p><p class="ql-block"> P24集成電路的成功開發(fā)為1978年10月我廠爭取到四機部彩電集成電路引進線提供了技術(shù)支持。參與研制的大部分技術(shù)人員在此后的彩電集成電路引進工程擔(dān)任了各級技術(shù)主管和領(lǐng)導(dǎo)。</p> <p class="ql-block">　　1981.7月我隨前工序赴東芝公司實習(xí)回國后在西大樓六車間光刻工作了幾個月。此時六車間已將前工序的氧化、擴散、蒸發(fā)、光刻集中在一起，由于缺乏大生產(chǎn)管理經(jīng)驗，每道工序的工人只干自己所屬產(chǎn)品的相關(guān)工作。如果稍加調(diào)整，以大工序為生產(chǎn)班組，細(xì)分工種，讓每個工人做專一的工作，可以將條線管理轉(zhuǎn)變成生產(chǎn)效率高的塊塊管理。</p><p class="ql-block"> 凈化改造后的六車間光刻此時已全部換裝了上海勞動牌光刻機，涂膠、顯影、刻蝕全部配置了排風(fēng)柜。文明生產(chǎn)環(huán)境大為改善。</p><p class="ql-block"> 1982.2月廠里分來了恢復(fù)高考后的第一批77級大學(xué)畢業(yè)生，結(jié)束了文革后技術(shù)隊伍斷代的問題。</p><p class="ql-block"> 1982年春季，引進線前工序生產(chǎn)車間S棟即將進入內(nèi)部管線鋪設(shè)，這時我奉調(diào)進入S棟生產(chǎn)準(zhǔn)備科開始光刻工序的生產(chǎn)準(zhǔn)備工作。部屬華東安裝公司的工程技術(shù)人員在車間內(nèi)各工序緊鑼密鼓地進行著最后的工程收尾施工。在對光刻間鋼格柵地下凈化循環(huán)空間進行最后噴涂處理時，安裝工人在密閉的環(huán)境下用有毒的三氯乙烯溶劑擦拭鋼架，在沒有防護措施的情況下工人們只能輪流下去工作幾分鐘再上來。他們這種工作態(tài)度令在場的我肅然起敬。</p><p class="ql-block"> 當(dāng)車間地面鋪上進口的塑料地板，全部照明燈光打開的瞬間，一個嶄新的、寬敞明亮的、充滿現(xiàn)代氣息的新車間展現(xiàn)在眼前。在這兒我們將開始中國第一條現(xiàn)代化集成電路生產(chǎn)線的新征程。</p> <p class="ql-block">　　 不久從西大樓六車間陸續(xù)抽調(diào)了十幾位員工進入S棟光刻開始做生產(chǎn)準(zhǔn)備工作。其中中專以上學(xué)歷達到50%，這個平均年齡二十幾歲的年輕團隊充滿朝氣和青春活力。</p><p class="ql-block"> 在設(shè)備尚未全部安裝到位之前，大家的主要任務(wù)是學(xué)習(xí)各項規(guī)章制度和做清潔工作。分到光刻的劉松濤回憶那段經(jīng)歷時說“當(dāng)初我們9個77級大學(xué)生先到S棟，潘振華副主任帶領(lǐng)我們打掃凈化車間衛(wèi)生，他吩咐我們用毛巾蘸三氯乙烯擦墻壁和地板，我們被三氯乙烯熏得難受極了，最后都躺在地上休息”。這是因為高濃度吸入三氯乙烯會抑制中樞神經(jīng)系統(tǒng)，引起頭暈、頭痛、心悸、惡心、乏力等癥狀。許多在S棟工作過的人可能都有這種難忘的經(jīng)歷。</p><p class="ql-block"> S棟作為集成電路引進線的前工序引進了從拉單晶到成品測試全套先進設(shè)備。并借鑒日本東芝公司的生產(chǎn)管理模式成立了車間，以主要工序為生產(chǎn)班組，班組內(nèi)按工藝流程設(shè)置單一工種。生產(chǎn)效率高，管理精細(xì)。我擔(dān)任了光刻的技術(shù)主管全面負(fù)責(zé)光刻的技術(shù)工作。編寫工藝文件，配合外國設(shè)備技術(shù)人員調(diào)試設(shè)備，進行工藝試驗，擬定標(biāo)準(zhǔn)化的光刻工藝參數(shù)，解決生產(chǎn)過程中遇到的各種技術(shù)問題。</p><p class="ql-block"> 此前光刻的工人師傅都是憑經(jīng)驗手工操作，在顯微鏡（最大400倍）下觀察光刻圖形質(zhì)量。現(xiàn)代化大生產(chǎn)則需要針對每次光刻的不同特點制定嚴(yán)格的工藝參數(shù)。引進線配備的電子掃描電鏡（Scanning Electron Microscope)可以幫助我們在做工藝試驗時對各種樣品的表面形貌進行高分辨率（萬倍級）成像分析，還能夠提供側(cè)面的微觀結(jié)構(gòu)信息評價光刻工藝質(zhì)量。引進線理化室配套的各種檢測儀器大大豐富了我們的實驗手段。</p><p class="ql-block"> 當(dāng)設(shè)備安裝就位后設(shè)備供應(yīng)商會安排工程師前來調(diào)試設(shè)備。記得英國專家Day先生來調(diào)試美國通用公司的光刻機時，他西裝革履一副英國紳士模樣，他為人彬彬有禮，干活慢條斯理，每隔一、兩個小時就要到休息室抽煙喝咖啡。星期天還會去上海度假。每當(dāng)遇到設(shè)備故障時他最常用的解決方法就是更換電路板。幾臺光刻機前后化了三個多星期才調(diào)試完畢。當(dāng)我們的設(shè)備工程師接手設(shè)備維護工作后，他們排除故障的能力遠(yuǎn)超外國專家。</p> <p class="ql-block">引進線前工序S棟外貌。</p> <p class="ql-block">　 S棟在各工序生產(chǎn)準(zhǔn)備全部完成以后開始了流片通線工作。流片使用了日方提供的拋光片。全流程使用我方技術(shù)人員擬定的工藝參數(shù)進行生產(chǎn)。通線時的日方聯(lián)絡(luò)官是川內(nèi)先生，他胖胖的，性情敦厚、為人謙和，他常駐華晶賓館（當(dāng)時叫外招）協(xié)調(diào)推進引進線的通線工作。試生產(chǎn)流片進行的非常順利，前兩塊集成電路的中測良品率接近100%。。</p><p class="ql-block">當(dāng)時負(fù)責(zé)S棟前工序主要技術(shù)人員有：</p><p class="ql-block">車間主任：孫瑞楠</p><p class="ql-block">技術(shù)副主任：陸詩莊</p><p class="ql-block">單晶硅：技術(shù)主管李克堯</p><p class="ql-block"> 工藝技術(shù)員劉 尉</p><p class="ql-block">切磨拋：技術(shù)主管錢阿夯</p><p class="ql-block"> 工藝員王偉德、</p><p class="ql-block">外延： 技術(shù)主管陳郁文</p><p class="ql-block"> 工藝技術(shù)員秦 舒</p><p class="ql-block">氧化擴散：技術(shù)主管孫炳華、吳云銘</p><p class="ql-block"> 工藝技術(shù)員李建峰、張建生、 </p><p class="ql-block">CVD: 技術(shù)主管沈元權(quán)、桑宇清、</p><p class="ql-block"> 宋銀根 、趙宏章</p><p class="ql-block"> 工藝技術(shù)員趙 青、戴紅義、</p><p class="ql-block"> 陳柱平、 楊建益</p><p class="ql-block">光刻： 技術(shù)主管周 勛</p><p class="ql-block"> 工藝技術(shù)員劉松濤、范成建、</p><p class="ql-block"> 胡浴紅、趙英芬</p><p class="ql-block">蒸發(fā)： 技術(shù)主管吳廣尉、袁克明、潘景炎</p><p class="ql-block"> 工藝技術(shù)員周 端</p><p class="ql-block">制版： 技術(shù)主管張浩仁、李立芳、游樹達</p><p class="ql-block"> 工藝技術(shù)員 范建超、 趙麗新</p><p class="ql-block">中測： 技術(shù)主管華瑞康、徐關(guān)林</p><p class="ql-block"> 工藝技術(shù)員蔣建安</p><p class="ql-block"> 注： 在S棟的還有CAD和理化分析，這兩個部門云集了眾多優(yōu)秀技術(shù)人員。但不參與前工序流片工作。</p><p class="ql-block"> 1983.3月S棟前工序引進線正式驗收投產(chǎn)，設(shè)計年產(chǎn)彩電用集成電路2600萬塊。這將讓更多的國產(chǎn)彩色電視機走進普通百姓的家庭。</p> <p class="ql-block">這是S棟全體員工在本廠外招慶賀前工序驗收投產(chǎn)。</p> <p class="ql-block">　　工廠的集成電路引進線一直備受黨和國家領(lǐng)導(dǎo)人的高度關(guān)注，曾經(jīng)有幾十位國家級領(lǐng)導(dǎo)人先后親臨S棟引進線視察。由于前工序是超凈廠房，為減少對廠房潔凈度的影響，大部分領(lǐng)導(dǎo)人都是在非凈化區(qū)和走廊觀察窗視察生產(chǎn)線。1984.12.12日當(dāng)時的總理和隨行人員視察了S棟前工序凈化區(qū)生產(chǎn)現(xiàn)場。當(dāng)進入光刻100級凈化區(qū)時，由于穿的連襪超凈服走在格柵上硌腳，總理走了兩步就停了下來。隨行人員一時陷入為難之中，這時我迅速脫下自己的工作鞋給總理穿上，總理穿著這雙工作鞋順利視察完了整個前工序。</p><p class="ql-block"> 1986.1.9日李鵬副總理也來到光刻工序現(xiàn)場視察，他平易近人和藹可親，當(dāng)走進光刻間就伸手和我這個普通技術(shù)員親切握手，記憶中這是我握過最柔軟的一雙手。李鵬副總理隨后仔細(xì)參觀了光刻的涂膠，曝光和顯影過程，并詳細(xì)傾聽了陪同領(lǐng)導(dǎo)的詳細(xì)介紹。</p> <p class="ql-block">　 在工作之余，光刻班經(jīng)常組織郊游活動。積極打造一個團結(jié)、和諧的工作團隊。</p> <p class="ql-block">　　這是1983.4.24星期天光刻班在太湖十八灣電影膠片廠附近湖邊郊游野餐。</p> <p class="ql-block">　　這是1983.5.22日光刻班在黿頭渚光明亭旁郊游野餐。幾位媽媽還帶上了她們的小孩。</p> <p class="ql-block">　　隨著生產(chǎn)規(guī)模的不斷擴大，每年都有新員工補充進來。光刻的姑娘們大多是高中以上學(xué)歷，他們聰明伶俐，思維敏捷，能夠很快掌握操作技能。她們每天以飽滿的工作熱情在崗位上忙碌。她們活潑開朗，笑聲是班組最動聽的旋律。她們關(guān)系融洽彼此像姐妹一樣親密。還有班組里那兩位性情溫和的暖男（工藝技術(shù)員劉松濤、范成建）默默呵護著這片花園。使班組的氛圍顯得更加輕松自在。</p><p class="ql-block"> 光刻的姑娘們年輕漂亮充滿青春活力，她們是車間里一道亮麗的風(fēng)景，又是班組生產(chǎn)的主力軍，她們用自己的勤勞和汗水為企業(yè)發(fā)展貢獻了自己美好的青春。</p> <p class="ql-block">　　這是光刻姑娘們經(jīng)過風(fēng)淋清潔后進入100級超凈光刻間。</p> <p class="ql-block">　　在八十年代愛美的光刻姑娘們就打扮時尚，她們的服裝色彩艷麗。</p> <p class="ql-block">　</p> <p class="ql-block">　　根據(jù)我國微電子工業(yè)與國際水平差距很大的現(xiàn)狀，電子工業(yè)部李鐵映部長指示“一家引進，多家受益”，要求我廠毫無保留地向全國同行推廣5um生產(chǎn)技術(shù)，讓全國的半導(dǎo)體企業(yè)從落后的作坊式小生產(chǎn)轉(zhuǎn)變成先進的現(xiàn)代化大生產(chǎn)。為此我們各工序技術(shù)主管在華晶賓館面向全國幾十家工廠、科研機構(gòu)的上百名技術(shù)人員做專題技術(shù)講座，毫無保留地傳授生產(chǎn)經(jīng)驗。同時還配合電子部情報所錄制了教學(xué)錄像，與清華大學(xué)、南京工學(xué)院合作編寫了“集成電路制造技術(shù)-原理與實踐”一書供全國同行業(yè)借鑒，讓全國在校的半導(dǎo)體專業(yè)學(xué)生了解和掌握半導(dǎo)體器件制造和生產(chǎn)的現(xiàn)代化大生產(chǎn)技術(shù)。（引自李鐵映部長為此書寫的序言）</p> <p class="ql-block">　　舉辦光刻技術(shù)講座</p> <p class="ql-block">　　拍攝光刻技術(shù)教學(xué)錄像</p> <p class="ql-block">　　光刻間拍攝教學(xué)錄像現(xiàn)場</p> <p class="ql-block">　　1987年出版了742廠和清華大學(xué)、南京工學(xué)院共同編寫的 “集成電路制造技術(shù)-原理與實踐”一書。</p> <p class="ql-block">　　1985.6.26日，電子部無錫742廠與電子部第24研究所無錫分所聯(lián)合成立無錫微電子科研生產(chǎn)聯(lián)合公司。兩強聯(lián)合后的第一件大事就是在S棟聯(lián)合研制64K存儲器。該64K存儲器由24所設(shè)計，采用3um工藝技術(shù)，集成了一千多個元器件，屬于大規(guī)模集成電路。聯(lián)合研制計劃在S棟前工序流片，但引進線是5um生產(chǎn)技術(shù)，它與64K3um工藝存在難以逾越的技術(shù)代差。</p><p class="ql-block"> 在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中，光刻技術(shù)處于核心地位（至今高端光刻機仍被歐美卡脖子）。當(dāng)時國外廠家已普遍使用分辨率高、對準(zhǔn)精度高和圖形缺陷少的步進投影光刻機（DSW）生產(chǎn)大規(guī)模集成電路。為了進口DSW黃蘭芳副廠長曾率我們有關(guān)人員就進口日本尼康分步投影光刻機和日方進行了數(shù)輪談判，記得有一天雙方整整談了一個通宵。最終還是因為巴黎統(tǒng)籌委員會的限制無法進口。</p><p class="ql-block"> 當(dāng)時中國科學(xué)院平諒光機所研制出一臺步進投影光刻機，電子部指示我廠派技術(shù)人員去驗收這臺光刻機。設(shè)想用這臺DSW光刻機試制64 K大規(guī)模集成電路。我和電氣工程師王浩清，機械工程師王人悅專程去平?jīng)龉鈾C所鑒定、驗收這臺步進投影光刻機。</p><p class="ql-block"> </p> <p class="ql-block">　　平諒光機所是中國科學(xué)院六十年代建設(shè)大三線時內(nèi)遷過去的光學(xué)設(shè)備研究所，八十年代中期甘肅平諒還是貧困地區(qū)。從我們在食堂用餐就可以感受到那兒的生活條件非常艱苦。由于受工藝條件限制，我簡單做了正膠3um分辨率試驗和對準(zhǔn)精度試驗。這兩項實驗數(shù)據(jù)尚可，但整臺光刻機工作狀態(tài)不穩(wěn)定，運過來以后因缺乏專業(yè)維修力量始終無法投入使用</p><p class="ql-block"> 和機械工程師王人悅，電氣工程師王浩清完成平?jīng)龉鈾C所DSW光刻機鑒定后在西安大雁塔大慈恩寺。</p> <p class="ql-block">　　為了克服缺乏專業(yè)設(shè)備的困難局面，我和廠所參與聯(lián)合攻關(guān)的光刻技術(shù)人員齊心協(xié)力共同擬定了在現(xiàn)有設(shè)備上完成64K光刻的工藝路線。由于64K單個芯片面積大，如何提高每次光刻的圖形完整率成了我們面臨的最大難題。假設(shè)能將每次光刻的圖形完整率控制在70-80%左右，經(jīng)過N次光刻后最好的結(jié)果可能會有5-10%左右的完整芯片。</p><p class="ql-block"> 每一次64K流片都要花費昂貴的費用，每一次光刻過程中只要在芯片圖形上留下一丁點的缺陷就會報廢整個芯片。為了減少接觸曝光時產(chǎn)生膠面破損，我們使用了膠面保護和掩模保護技術(shù)，并挑選了最棒的光刻機操作能手在對準(zhǔn)時盡量減少接觸次數(shù)。硬是用接觸式光刻刻蝕出了完整的64K大規(guī)模集成電路芯片。</p><p class="ql-block"> 1986.5.12號64K存儲器流片成功，芯片測試各項參數(shù)達到設(shè)計要求。最好的單片良品率與我當(dāng)初的設(shè)想基本一致。為了這一天，六十多歲的電子部元器件公司武爾楨總工程師長駐華晶賓館半年多指導(dǎo)推進廠所聯(lián)合攻關(guān)。這更像是完成了一項重大的政治任務(wù)?，F(xiàn)在沒有人能理解當(dāng)時在不具備科研生產(chǎn)條件的情況下企業(yè)會化巨資去做一項沒有經(jīng)濟效益的研發(fā)。</p><p class="ql-block"> 歷經(jīng)艱難64K聯(lián)合攻關(guān)終于完成，我們?nèi)玑屩刎?fù)。感謝我的團隊劉松濤，范成建。還有24所的蘇巍和姜鴻。大家在平凡的崗位上默默地做了一個光刻人足以自豪的工作。</p> <p class="ql-block">　　1985年6.25日我們742廠的彩電集成電路引進工程通過了國家驗收。工廠成為國內(nèi)集成電路產(chǎn)量第一的大廠。到1987年全年生產(chǎn)集成電路3003萬塊，占全國集成電路總產(chǎn)量的50%左右，超過了工程設(shè)計產(chǎn)能。工廠這幾年的高速發(fā)展產(chǎn)生了很好的經(jīng)濟效益。職工福利待遇也在全市名列前列。其間為了增強一線員工的身體素質(zhì)，廠工會組織了兩批老職工赴青島療養(yǎng)。</p> <p class="ql-block">　　1986.7.24-8.5在青島療養(yǎng)院。</p> <p class="ql-block">　　1990.5.6日S棟技術(shù)人員赴江陰遠(yuǎn)望號和黃山炮臺游覽。這個群體中許多人后來成為國內(nèi)微電子行業(yè)的佼佼者。</p> <p class="ql-block">　　當(dāng)生產(chǎn)線一切步入正常運行軌道后我們又將目光投向開發(fā)新工藝，提高產(chǎn)品質(zhì)量和經(jīng)濟效益。</p><p class="ql-block"> 在引進的彩電4片機集成電路生產(chǎn)技術(shù)中有一種采用OCD加二氧化硅作為絕緣介質(zhì)的雙層布線工藝。當(dāng)時國際上剛開始使用聚酰亞胺作為芯片表面純化。鑒于聚酰亞胺優(yōu)異的絕緣性能，經(jīng)過實驗和摸索，我們解決了將聚酰亞胺作為多層布線絕緣介質(zhì)時遇到的諸多難題，最終將這項新工藝成功替代引進工藝用于生產(chǎn)彩電集成電路。電子部技術(shù)評審委員會評價“這是一項國內(nèi)自行開發(fā)的將聚酰亞胺作為多層布線層間介質(zhì)應(yīng)用于集成電路大生產(chǎn)的新工藝”。1988年該課題獲得了電子部科技進步三等獎。而更深層次的意義是我們這一代光刻人有敢于追逐國際先進水平的追求和自信。</p> <p class="ql-block">　　1989年8月8日廠所聯(lián)合成立了中國華晶電子集團公司，下設(shè)雙極電路總廠、分立器件總廠、動力總廠、工模具中心和中央研究所。1990年下半年我結(jié)束了在S棟生產(chǎn)一線的工作。調(diào)入雙極總廠技術(shù)科從事新品開發(fā)管理工作。</p> <p class="ql-block">　　1992.3.7日技術(shù)科全體同仁在梅園賞梅。</p> <p class="ql-block">　　1996年我借調(diào)到江蘇省商業(yè)廳從事外貿(mào)工作。2002年正式離開華晶。在廠30多年也算是華晶的老員工了。雖然這些年去過歐洲，美洲，非洲和亞洲的一些國家和城市，但最讓我魂牽夢繞的還是無錫華晶S棟那個泛著黃光的光刻間。我真想回去看看。</p> <p class="ql-block">　　1999年在布拉格機場。</p> <p class="ql-block">　　2002年2月28日華晶融入華潤集團成立華潤微電子有限公司。</p><p class="ql-block"> 2016年6月16日，我們五位同學(xué)在范成建總工程師（我調(diào)離后由他接任光刻技術(shù)主管）和蘇巍總經(jīng)理（他是當(dāng)年24所來光刻和我們一起參加64K大規(guī)模集成電路聯(lián)合攻關(guān)的工程師，時任華潤上華科技有限公司總經(jīng)理）的安排下我重新回到了闊別20多年的無錫華晶，參觀了S棟現(xiàn)今的6吋生產(chǎn)線和華潤微電子上華公司的8吋生產(chǎn)線。感嘆光刻技術(shù)已從當(dāng)初的微米級提高到了幾十納米的水平。</p> <p class="ql-block">　　參觀老S棟最大的感受是原本寬暢的車間現(xiàn)在被各種設(shè)備擠得滿滿當(dāng)當(dāng)，設(shè)備的自動化程度高了，操作人員大幅減少。</p> <p class="ql-block">　　無錫上華科技公司8英吋生產(chǎn)線是華潤微電子在新區(qū)新建的生產(chǎn)線，工藝水平和自動化水平更高。</p> <p class="ql-block">　　觀看華潤微電子上華科技公司規(guī)劃模型。</p> <p class="ql-block">　　此時我最想念的還是那些一起共事過的光刻老同事。2017年11月11日我組織了S棟光刻員工大聚會。</p> <p class="ql-block">　　S棟光刻老中青三代歡聚一堂。</p> <p class="ql-block">多年不見你還好嗎？重逢的喜悅溢于言表。</p> <p class="ql-block">　　這是1982年第一批進入S棟光刻的元老。</p> <p class="ql-block">　　他們是1983年加入光刻。</p> <p class="ql-block">　　他們是84年入職光刻。</p> <p class="ql-block">　　他們是85年來到光刻。</p> <p class="ql-block">　　他們是87年融入S棟光刻團隊。</p> <p class="ql-block">　　這是2017年在S棟光刻工作的年輕一代，光刻自有后來人。</p> <p class="ql-block">　　要給光刻的專職攝影師范成建（左3）點贊。是他用相機給大家留下了幾十年間許多美好的瞬間。是他用自己的工作能力和性格魅力獲得了眾人的贊譽。</p> <p class="ql-block">　　聯(lián)歡活動現(xiàn)場熱鬧非凡，歌聲、音樂聲、笑聲、掌聲和喝彩聲交織在一起。大家盡情地享受著這個歡樂的時刻。</p> <p class="ql-block">　　我唱了一首《情緣》表達我們共同的光刻情緣。</p> <p class="ql-block">　　時光不老，我們不散。</p> <p class="ql-block">　　如今當(dāng)年在S棟共事的同事都已退休。華晶老廠區(qū)也破舊不堪面臨搬遷。一切過往都將成為記憶，新舊交替是歷史的必然。</p><p class="ql-block"> 下面是一組2024.11.16日去華潤微電子公司打乒乓時拍攝的廠區(qū)照片。</p> <p class="ql-block">　　廠區(qū)中央大道南端。</p> <p class="ql-block">　　廠區(qū)中央大道北端。</p> <p class="ql-block">運河西路東大門廠區(qū)。</p> <p class="ql-block">　　原S棟廠房。</p> <p class="ql-block">　　華潤微電子目前是國內(nèi)領(lǐng)先的IDM半導(dǎo)體企業(yè)，和當(dāng)年的華晶一樣具有從產(chǎn)品設(shè)計、制造，封裝測試全產(chǎn)業(yè)鏈。 建在重慶最先進的12吋晶圓產(chǎn)線月產(chǎn)3萬片晶圓，全新主流設(shè)備占比達95%，配備了全球頂尖品牌天車系統(tǒng)及自動化排產(chǎn)系統(tǒng)，結(jié)合自動化立體倉儲，實現(xiàn)了行業(yè)領(lǐng)先的無人化工廠。</p><p class="ql-block"> 愿華潤微電子接力華晶再創(chuàng)輝煌，祝所有的華晶人幸?？鞓?！</p>