奧林巴斯OLS5500激光共聚焦顯微鏡是全新一代精準(zhǔn)測量激光共聚焦顯微鏡,于2025年末發(fā)布,專為研發(fā)(R&D)、質(zhì)量保證(QA)及質(zhì)量控制(QC)團(tuán)隊(duì)量身打造。該儀器最大的技術(shù)突破在于將激光掃描顯微鏡(LSM)、白光干涉儀(WLI)和聚焦變化顯微鏡(FVM)三大成像技術(shù)融于一體,一套系統(tǒng)即可覆蓋從納米級到毫米級、從平坦區(qū)域到陡峭斜坡的全場景測量,構(gòu)建起從研發(fā)至質(zhì)控的統(tǒng)一測量基準(zhǔn)。<br> 三大技術(shù)各司其職、互為補(bǔ)充: LSM提供橫向分辨率,精準(zhǔn)測量粗糙紋理、微觀結(jié)構(gòu)和陡峭斜面;WLI實(shí)現(xiàn)納米級垂直精度,適配光滑表面、斜面和薄膜測量,檢測效率較傳統(tǒng)激光共聚焦顯微鏡最高提升40倍;FVM則實(shí)現(xiàn)從宏觀到微觀的全覆蓋,適用于大面積或不規(guī)則區(qū)域的測量。三種模式協(xié)同工作,可同時保障LSM與WLI兩種成像模式在用戶現(xiàn)場的測量準(zhǔn)確性與重復(fù)性,且由技術(shù)人員進(jìn)行現(xiàn)場校準(zhǔn),帶有時間戳記錄,確保符合國際計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)。<br> 在光學(xué)設(shè)計(jì)上,OLS5500搭載自主研發(fā)的LEXT專用物鏡,能克服傳統(tǒng)物鏡邊緣區(qū)域失真的痛點(diǎn),保持整個視場的清晰度和形狀保真度。高數(shù)值孔徑WLI物鏡最高可達(dá)0.8 NA,即使在陡峭或紋理表面上也能產(chǎn)生清晰的干涉條紋和相位穩(wěn)定性。配合4K高靈敏度傳感器、激光微分干涉對比(DIC)技術(shù)及上表面檢測濾色片,可清晰捕捉傳統(tǒng)系統(tǒng)無法顯示的關(guān)鍵細(xì)節(jié)。<br> 智能自動化是另一大亮點(diǎn):載物臺移動時自動生成宏觀地圖并實(shí)時跟蹤記錄,提供連續(xù)自動對焦功能,無需手動重新對焦;流程向?qū)浇缑孀尣煌炀毘潭鹊挠脩舳寄茌p松操作。該設(shè)備廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓檢測、5G電路板銅箔粗糙度測量、滾珠軸承表面分析,乃至醫(yī)療顯微外科手術(shù)等領(lǐng)域。<br> 奧林巴斯OLS5500激光共聚焦顯微鏡<br> https://www.huazhaotech.com/Products-39946974.html<br> https://www.chem17.com/st670748/product_39946974.html